전북대학교 최철종 교수는 공동연구를 통한 ‘차세대 산화갈륨 전력반도체 신소자’ 개발에 성공했다.

전북대는 14일 최철종 교수와 ㈜시지트로닉이 공동 연구를 통해 1.2 kV ~ 2.6 kV의 고전압 환경에서 안정적인 동작이 가능한 산화갈륨 전력반도체 신소자 기술을 개발했다고 밝혔다.

산화갈륨 전력반도체는 세계적으로 많은 연구가 진행되고 있지만, 아직 국내는 기술 개발 초기 단계에 머무르고 있다.

이로 따라 성장 잠재력이 우수한 산화갈륨 전력반도체의 세계적인 기술 경쟁력을 확보하기 위해서는 국내 기술 개발이 시급한 상황이다.

공동연구팀이 개발한 신소자는 저손상 식각기술을 이용하여 형성된 도랑 구조에 P형 반도체 박막을 접합한 구조적 특징을 지녔다.

이는 기존 평판형 소자와 비교하여 항복전압을 2배 이상 높일 수 있다.

특히 이번에 개발된 신소자의 누설전류(~5x10-6A/㎠)와 온저항(~5 mΩ㎠) 특성은 충분히 사업화 수준에 근접했다는 평가를 받는다.

최 교수는 “후속 기술개발로 더욱 높은 전압까지 견딜 수 있는 소자의 구조와 핵심 제조공정을 개발하여 기존의 전력반도체 성능을 능가하는 제품으로 사업화가 가능할 것으로 기대하고 있다”고 말했다.

/황희원기자